產品名稱：HMDS真空干燥箱（高真空干燥箱）

產品型號

BPZ-6060MS

BPZ-6090MS

BPZ-6060HV

BPZ-6090HV

產品特點

用途概述：

HMDS真空干燥箱用于半導體晶圓在進行HMDS預處理工藝中的干燥，通過程序設定，使抽真空-通氮氣-抽真空-等實現自動控制，自動實現HMDS預處理工藝過程，用于光刻過程的涂膠工藝；

高真空干燥箱可在潔凈環境下使用，滿足潔凈環境下的高真空，無塵生產工藝，半導體晶圓生產工藝車間使用，用于半導體、電子、醫療衛生、儀器儀表等領域的無氧化干燥工藝；

產品特點
● 采用智能觸摸屏控制，溫度、真空度、時間等直接設定，菜單式操作，操作維護方便；
● 工作室采用316不銹鋼，更好耐酸堿腐蝕，確保產品經久耐用，便于清潔；
● 長方形真空室，使有效容積大，能充分利用空間；
● 彈性雙層鋼化玻璃門觀察工作室內物體，一目了然；
● 箱門閉合松緊可調節，整體成型的合成硅橡膠門封圈，確保箱內高真空度；
● 增設超溫保護溫控口，有效的防止溫度失控等安全問題；（選配）
● 低噪聲專業真空泵，真空控制穩定可靠；（HMDS真空干燥箱）
● 采用內膽加熱，箱體內無任何電子元器件，無污染，不易被腐蝕，使用更加安全；
● 采用超高真空泵，能夠保證箱體內真空度達1.0×10-4Pa；(高真空干燥箱)
程序控制
● 程序控制操作，可根據工藝需求設定加熱、真空度設定、通氮、時間等參數實現自動程序控制，確保每批次烘烤一致性，降低產品的烘烤差異性；
● 具有485通訊接口，可以通過外置軟件程序實施查看設備運行狀況和程序運行狀況，保證設備一直運行在監控當中；
技術參數

技術指標\型號	HMDS真空干燥		高真空干燥箱
	BPZ-6060MS	BPZ-6090MS	BPZ-6060HV	BPZ-6090HV
電源電壓	AC220V 50HZ		AC220V 50HZ
輸入功率	3000W	3500W	3000W	3500W
控溫范圍	RT+10~250℃		RT+10~200℃
溫度分辨率/波動度	0.1℃ /±1℃		0.1℃ /±1℃
達到真空度	100Pa		1.0×10-4Pa極限真空度
真空度顯示	電子式真空度顯示		電子式真空度顯示
工作環境溫度	＋5～40℃		＋5～40℃
內膽尺寸(mm)W×D×H	400×400×400	450×450×450	400×400×400	450×450×450
外形尺寸(mm)W×D×H	600×570×1390	610×590×1350	600×570×1390	610×590×1350
擱板	2塊		2塊
加熱方式	內膽加熱		內膽加熱
工作室材料	316不銹鋼		316不銹鋼

※性能參數測試在空載條件下為：環境溫度20℃，環境濕度50%RH

注：外殼可定制為304不銹鋼材質

選購件：（增加選購件交貨期7天）

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